中古 MRC 8260 #9255081 を販売中

MRC 8260は高性能スパッタリング装置で、幅広い基板に対応した各種薄膜用途での成膜結果を向上させます。このシステムには、DCスパッタリングと比較して優れた蒸着速度と均一性を提供するRFダイオードスパッタリング源が装備されています。さらに、2つのスパッタリング源を独立して操作し、その入力を正確に制御することにより、層の厚さと組成をより良く制御することができます。これは、特に多層薄膜の堆積に関連しています。8260スパッタリングユニットはまた、優れた沈着結果を達成するのに役立つ統合された機能の数を提示します。これは、迅速なサンプル読み込みのための便利なオープンLoadLock設計と大規模で簡単に構成可能なプロセスチャンバーを備えています。プロセス環境には、スパッタリングチャンバー内の汚染物質の蓄積を低減する低圧プラズマ発生器があります。さらに、このマシンはベース圧力とガスの流れをその場で制御する機能を備えています。蒸着プロセスを正確に制御するために、MRC-MRC 8260は強力なプロセスコントローラを備えています。チャンバー内の温度・圧力のリアルタイム監視・調整が可能です。さらに、コントローラは、ツールのパラメータを操作および制御するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。これには、それぞれに最大8つのプロセスステップを持つ最大6つのオペレーティングレシピを構成する機能が含まれます。幅広い機能と制御オプションを備えた8260は、信頼性と高品質の蒸着結果を提供します。窒化物、貴金属、炭素、酸化物などのスパッタコーティングに適しています。さらに、誘電体、半導体、金属、生体適合物質の薄膜成膜などの精密アプリケーションに最適です。全体として、MRC-MRC 8260は、今日の薄膜蒸着要件のニーズに対応するように設計された堅牢で信頼性の高いスパッタリングモデルです。多種多様な産業や用途において、優れたプロセス制御、優れた再現性、優れた成膜結果を提供します。