中古 MRC 693 #9179537 を販売中
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MRC 693は、プラズマ強化蒸着プロセス用に設計された小型スパッタリング装置です。3ゾーンスパッタリングシステムで、ターンオーバー式のロードロックと一体型の事前避難室を備えています。このユニットは、標準の300mm （12インチ）基板ホルダーを使用し、目的に合わせたベローズアセンブリを備えており、最大114mm （4。5インチ）の直径を持つ最大8つのターゲットをサポートできます。コンパクトなプロセスチャンバーには、400Sシリーズスパッタ電源と高い蒸着制御と基板の均一性を目的としたICP無線周波数（RF）電源が装備されています。このチャンバーはまた、円筒形の傾斜可能な真空外ロードロックを備えており、基板の積み込みと積み下ろしが容易になり、サイクル時間を短縮できます。693のベース圧力は、リニアモーションOリングシール機と必要な冷却および加熱システムのおかげで非常に安定しています。そのガス処理ツールには、入口冷却資産とガス循環モデルが含まれています。ターボ分子ポンプは主真空ポンプであり、ターボ速度2,700 l/sで10^-7 Torrの動作圧力範囲を達成することができます。MRC 693は、直感的なユーザーインターフェイスを使用して制御および監視されます。これにより、ユーザーは操作パラメータをカスタマイズして自動化し、プロセスを効率的に最適化することができます。また、タッチスクリーンベースのインターフェイスにより、スパッタリング電力、蒸着速度、RF電力を正確に調整できます。インテリジェントなフィードバック制御ループにより、システムが高精度で再現性に優れていることを保証します。安全対策として、ユニットは、任意の不要なX線から保護するスチールキャビネットの2層に収容されています。機械には、緊急停止の場合にユニットへのすべての電力を遮断する安全スイッチも装備されています。結論として、693は非常に汎用性が高く、エネルギー効率の高いスパッタリングツールです。その信頼性と直感的なコントロールは、さまざまなスパッタリングプロセスに最適です。
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