中古 MRC 662 #9265336 を販売中

MRC 662は研究および産業適用の広い範囲のために設計されている強力で、適用範囲が広いスパッタの沈殿システムです。超高精度薄膜・金属コーティング用に設計されたコンパクトな真空プロセスチャンバーです。スパッタリングプロセス中に堆積物の酸化を避けるために、チャンバーは低圧状態で維持されます。このシステムは、強力なイオン爆撃と均一なスパッタ沈着を組み合わせたアーク型カソードを使用しています。これにより、コーティングの優れた均一性を提供しながら、高い蒸着速度を実現します。部屋は8つのRFのアンテナの円パターンが付いているマルチランプ、すべての水晶構造です。それは最大の柔軟性のために設計されている調節可能なプロセスエンクロージャとのプロセスの均一性を提供します。調節可能な空洞の送風機は低い二次電子放出および沈殿の均質性を保障します。チャンバーはまた、独立したリフトと回転を備えた統合された可動式ターゲットポジショナーを備えています。これにより、真空を破壊することなく、さまざまなターゲットのレシピ制御が可能になります。その他の機能には、プロセスパラメータを監視するための統合された測定および診断モジュールと、サンプル転送用の完全自動ロボットイジェクタが含まれます。662はまた内部および外的な電極の製作を可能にするアクセスポートを含み、優秀なレーザーの印の機能を提供します。それはまたコーティングおよび表面処理の広い範囲のための多くのガスのコントローラーと互換性があります。全体として、MRC 662自動スパッタ蒸着システムは、幅広い薄膜蒸着アプリケーションに最適です。それは研究および産業適用のための強力でありながら非常に精密な薄膜および金属のコーティングを提供します。その強力な機能には、均一性のための調整可能なプロセスチャンバー、可動ターゲットポジショナー、統合診断モジュール、サンプル転送用のロボットエジェクターが含まれます。その柔軟性と利便性は、コーティングプロセスを改善するために探している研究者やメーカーにとって理想的な選択肢です。