中古 MRC 643 #9303325 を販売中
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MRC 643は、マテリアルリサーチ社(MRC)が設計した最先端のスパッタ蒸着装置です。このシステムは、毎分最大100ナノメートルの速度で様々な材料の複数のフィルムを堆積することができ、最大チャンバーサイズは450x450x 450mmです。643は、今日市場で入手可能な最も汎用性の高いスパッタ蒸着システムの1つであり、多くの異なる材料からフィルムを堆積することができます。MRC 643は様々な用途に適しており、金属不活性ガス(MIG)コーティング、光学コーティング、太陽電池、液晶、半導体デバイスなど、さまざまな表面エンジニアリングおよび薄膜用途に使用できます。このユニットには、温度制御やプロセス制御などのさまざまなプログラマブルパラメータが含まれており、毎回高品質の蒸着を保証します。この装置には400kHz電源が搭載されており、毎分100ナノメートル以上の最大蒸着速度を実現するために高電圧を供給することができます。このツールには、コントローラ、フローティング基板ホルダー、ガス供給資産、冷却モデルも含まれています。システムが最適なレベルで動作していることを確認するために、自動機器校正ヘルパー(ASH)プログラムも利用できます。643はメインコントローラ、電源制御ボード、2つの独立したプロセスチャンバーを含むメインフレームで構成されています。2つのプロセスチャンバーは独立した制御機能を備えており、並列蒸着プロセスや共同蒸着プロセスに使用できます。MRC 643ユニットには、チャンバーインターロック、ベントマシン、パージ機能、熱暴走の保護など、多くの安全機能も備えています。643は信頼でき、多目的で、費用効果が大きいスパッタの沈殿用具で、顧客の上の選択のスパッタリング資産であると証明されました。このモデルは、成膜パラメータの正確な制御と優れた再現性を提供します。薄膜成膜や金属不活性ガス(MIG)コーティングをお探しの場合でも、MRC 643はあらゆるニーズに合わせてカスタマイズできます。
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