中古 MRC 643 #9265606 を販売中

MRC 643は研究および産業適用の使用にとって理想的な最先端のスパッタリングシステムです。これは、マグネトロンスパッタリング源と基板ホルダーを収容する陰極チャンバーと、イオン源と加速器ユニットを含む加速カラムの2つの主要なコンポーネントで構成されています。643の陰極室には、チャンバーとスパッタリング源を真空下に保つための2つのターボ分子ポンピングシステムが装備されています。また、4インチまでの単一または複数の基板を収容することができる2つの4ポケット電気機械回転マルチロー基板ホルダーが含まれています。調節可能なスパッタリングソースは、蒸着速度の変化を可能にし、信頼性の高い角度スパッタリング機能を提供します。MRC 643の加速カラムは、無線周波数イオン源、加速グリッド、コレクターグリッドを利用したイオン源と加速器で構成されています。イオン源は、アルゴンやキセノンなどの原料から正に荷電したイオンのビームを生成し、このビームを基板に向けます。加速グリッドは最大20keVの速度で粒子ビームを伝達し、コレクターグリッドは残りのイオンを保持して基板に再蒸着します。全体として、643は多種多様なアプリケーションに対応できるように設計された汎用性の高いシステムであり、優れた精度と精度を提供します。高い沈着率、優れた均一性と再現性、優れた角質スパッタ機能を組み合わせることで、研究機関や生産業務に最適です。MRC 643は、低い運用およびメンテナンスコストで、今日の市場で最も費用対効果の高いスパッタリングシステムの1つです。