中古 MRC 643 #9227515 を販売中

MRC 643は、Mechanochem Research Corporation （MRC）によって製造されたスパッタ装置です。研究および産業用途に特化して設計されたこのシステムは、さまざまな材料を基板にスパッタリングすることができます。643ユニットには、電源、プロセスチャンバー、ターゲットスパッタリングガン、基板ホルダーが含まれています。この電源は、ターゲットのスパッタリングガンに電力を供給するために使用され、DCおよびRFスパッタリングプロセスの両方に対応する柔軟性を提供します。プロセスチャンバーは、さまざまな蒸着材料に最適なスパッタ条件を提供し、フィルムの均一性と再現性を確保するように設計されています。ターゲットスパッタリングガンは、プラズマ損傷とそれに伴う充電効果を最小限に抑えるために、低プライマリ電子エネルギーを利用します。基板ホルダーは調節可能で、プロセスをより大きな制御することができます。MRC 643マシンはまた、反復性と柔軟性のためのロボットワークハンドリングツールを備えています。自動サンプル実装とアンマウントのための高精度ロボットアームを備えており、さまざまな基板サイズに対応する柔軟性を提供します。ロボットアセットは、正確な位置決めと正確な基板温度制御を提供し、最適なフィルム品質を実現します。643モデルには、スパッタリング蒸着時のフィルム密度とプロファイルの均一性を確保するように設計された高度なマルチゾーンガス配送装置も装備されています。ガス供給システムは、最大4つのガスを同時に処理する柔軟性を提供し、また、最適な性能のための圧力制御ユニットとガス流量調節機構を組み込んでいます。さらに、MRC 643マシンは、スパッタリングプロセスのパラメータを積極的に監視するための高度な診断および制御ツールを備えた高度に最適化されたプロセス環境をユーザーに提供します。内蔵のコンピュータ資産を使用して、モデルプロセス（温度、圧力、電力）を監視し、一貫したスパッタリング結果を得ることができます。この機器は、操作を容易にするためのインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供します。全体として、643は信頼性が高く、使いやすいスパッタリングシステムで、優れたプロセス安定性とスパッタリング蒸着プロセスの精密な制御を提供します。このユニットは、ユーザーフレンドリーな操作を提供し、産業、研究開発アプリケーションに適しています。