中古 MRC 643 #9124209 を販売中

MRC 643は高性能DCマグネトロンスパッタリング装置で、様々な用途の材料の高スループット成膜を可能にするように設計されています。構成可能な3ゾーンのチャンバー構成を備えており、最大3つの蒸着カソードをサポートし、高密度の多層フィルムスタックを可能にします。このシステムには最大5000ワットの電源が搭載されており、最大2500ワットのスパッタリング電源が可能で、幅広い用途に対応できます。643の3ゾーンチャンバー構成は、基板や堆積層の汚染を避けるために基板と堆積カソードを空間的に分離することができるため、多層スタックの堆積に最適です。このチャンバーには、1mTorrの最小設定圧力と最大設定圧力4 Torrの高速で信頼性の高い圧力制御を提供する統合圧力制御ユニットなどの追加機能も含まれています。MRC 643はまた、基板表面への均一な質量輸送を保証する6本指ロードロック設計により、基板への優れた質量輸送を提供します。フィルム層の蒸着速度を容易に制御することができ、1〜10O/sec ~の蒸着速度を得ることができます。また、反応性スパッタリングプロセスや基板の内部洗浄およびエッチングを実行することができ、プロセス実装中の制御を強化することができます。643はまた機械および人員の両方に信頼できる保護を提供するよく発達した安全議定書が装備されています。スパッタリングツール全体は、コンピュータプログラマブルで独自の制御ソフトウェアによって制御されます。半自動プロセスを作成することができ、時間を節約し、ヒューマンエラーを低減します。全体として、MRC 643は様々な材料の高スループット処理と成膜が可能な優れたスパッタリングアセットを提供し、様々な表面エンジニアリング用途に最適なモデルとなっています。