中古 MRC 643 #9004057 を販売中

MRC 643は、高性能な物理蒸着（PVD）スパッタリング装置で、さまざまな基板に極めて精度の高い薄膜を堆積させることができます。643は、最大10ナノメートル/秒の生産速度で基板上の高真空システムとスパッタターゲット材料を利用し、材料コストを削減しながら生産性と効率を向上させることができます。そのユニークなデザインは、6独立した傾斜スパッタリングガンユニットを備えており、堆積プロセスの柔軟性とカスタマイズを向上させ、優れた均一性で異なる材料を同時に堆積させることができます。MRC 643は、統合されたロードロックチャンバー、チャンバー再循環、自動基板洗浄プロセス、温度制御環境、および完全CAD/CAM互換のオペレーティングユニットなどのさまざまな機能を備えています。このマシンは産業用に設計されており、精度と信頼性を最大化するための幅広い統合機能を備えています。独自の冷却ツールは、ターゲット材料の寿命を延ばし、メンテナンスコストを削減するのに役立ちます。このアセットは、特定の顧客のニーズに合わせて調整することができ、幅広い堆積率、ターゲットのサイズ、ターゲット間の距離、および異なるターゲット材料を可能にします。また、ウェーハ、太陽電池、フラッシュメモリ、複雑な形状の基板など様々な基板に対応できるように設計されており、研究開発や生産アプリケーションに最適です。643の制御装置EZ-Dep 2は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスで堆積プロセスを最適化するように設計されています。これにより、プロセスパラメータを設定し、蒸着パラメータを監視し、スパッタリングパラメータをリアルタイムに調整して、より高い精度と制御を実現できます。MRC 643は、生産性とコスト効率を最大化しながら、さまざまな基板に薄膜を堆積させるための信頼性と再現性の高いプロセスをユーザーに提供します。独自の設計、高度な機能、ユーザーフレンドリーな制御システムにより、産業用スパッタリングアプリケーションに最適です。