中古 MRC 643 #293810159 を販売中

MRC 643は、643mm x 1073mm （25。3 「x 42。3」）までの基板サイズに対応するように設計された、先進的な長方形マグネトロンスパッタリング装置です。この汎用性の高いツールは、高レートの生産成膜用に設計されており、最大4つのプロセスチャンバーに複数のターゲットを収容できます。また、洗練された内部サンプル搬送システムを備えており、各チャンバーのデュアルフローティングアームトランスポーターと3つの独立したコントローラーを使用して、完全なチャンバー制御を実現しています。スパッタリングユニットは、強力な電磁石と高出力RFcompactソースを使用して、プロセスチャンバー内に焦点を当てたプラズマを生成します。これにより、スパッタエッチング、コーティング、成膜が効率的に行われ、表面品質に優れ、汚染を最小限に抑えた複雑な設計が可能になります。その大きな基板テーブルと複数のターゲット構成により、機械は金属、合金、セラミック、および誘電体を含むさまざまな材料を堆積することができます。643のユーザーフレンドリーで高度に自動化された機能には、直感的なソフトウェアインターフェイスとデジタル化された色分けされたチャンバーサイクルタイマーが含まれます。このインターフェースにより、オペレータはプロセスパラメータを制御し、プロセス設定、温度、圧力について正確でリアルタイムのフィードバックを提供します。すべてのツールステータスとプロセスパラメータは、正確さと信頼性を確保するために安全なサーバーに保存されます。さらに、内蔵の自動開始/停止機能は、基板の読み込みとアンロードを自動的に管理します。MRC 643アセットのその他の機能には、小型スイングアームオートローダーと業界最高の5ミクロン基板精度定格があります。これにより、厚さ1インチまでの複数の基板とウェーハにわたって一貫した精度が保証されます。さらに、このモデルは、最適な性能と互換性のために幅広い標準化学物質を受け入れます。標準パッケージの一部として、643には、人員と機器を最大限に保護するために機器に組み込まれた堅牢な安全プロトコルが付属しています。結論として、MRC 643スパッタリングシステムは、基板沈着、エッチング、コーティングのための効率的で信頼性の高いツールです。堅牢な設計により、一貫した品質と精度が保証され、大型基板テーブルと複数のターゲットサポートにより、高レートの生産アプリケーションに最適なソリューションです。