中古 MRC 603 #9286006 を販売中

MRC 603は、薄膜材料の大規模な生産のために特別に設計された高性能スパッタリング装置です。この統合された部屋は太陽電池の生産、適用範囲が広いOLED装置およびフラットパネルディスプレイのような適用にとって理想的です。このシステムは、コンパクトでコンパクトなスパッタ源、最大160度のスキャン範囲を持つ電動回転ターゲットスキャナ、調整可能な電力とプログラム可能なセットポイントを備えたRF/DC電源、基板ヒーター、温度コントローラ、ガス分配マニホールドで構成されています。高出力RF/DC電源により、基板への高い蒸着速度と均一なスパッタ蒸着が可能です。電動回転ターゲットスキャナは、蒸着面積を正確に制御し、カスタマイズ可能な基板サイズ構成を幅広く提供します。さらに、温度コントローラと基板ヒーターは、均一な温度分布を保証し、より高品質で均一なフィルム蒸着を可能にします。603は、革新的なターボベースの設計、堅牢なガスシール、高品質のモジュラーコンポーネントを備えた、十分に設計された真空ユニットを備えています。これにより、10E-7〜1000ミリリットルのプロセス室圧力範囲を可能にし、高速ポンプダウンサイクル時間を実現します。機械はまた正確なガスの流れおよび圧力調整を保障する信頼できるマスフローのコントローラーを含んでいます。直感的なユーザーフレンドリーなタッチスクリーンメニューツールは、パラメーターを簡単にプログラムおよび調整し、複数のソースからレシピの設定と転送を可能にします。リモート診断機能により、リアルタイムの監視が可能になり、プロセスのtecnhiciansがプロセスの状態を追跡できるようになります。MRC 603の信頼性と堅牢な機械設計は、EMCコンプライアンスなどの産業プロセスにおける最高水準の安全プロトコルに準拠しています。603スパッタリングアセットは、トラブルのない運用とメンテナンスを最小限に抑えるために設計されており、信頼性と優れた性能を備えています。