中古 MRC 603 #9194036 を販売中

MRC 603はJelight Company Inc。が設計した高度なスパッタリング装置です。このシステムは、薄膜蒸着のための幅広い研究ニーズに応えるように設計されています。対象物質を爆撃するイオンの発光放電を行い、対象物質の粒子をノックして薄膜を作ります。対象材料には、磁性材料、誘電体、半導体、高導電性材料などがあります。ユニットには2つのカスタムデザインの高真空室があり、長寿命と優れた稼働時間のために堅牢に構築されています。RF駆動プラズマ源を組み込み、イオン爆撃率を向上させます。最終的な結果は均一で、高品質の薄膜です。機械は統合された冷却用具を含んでいて、複数のプロセスを動かし、事前プログラムされた操作が可能です。603自動化された薄膜蒸着アセットは、ユーザーフレンドリーで使いやすいソフトウェアインターフェイスと統合されています。このインターフェイスは、プロセスを自動最適化するための直感的な操作プログラムと、特定のプロセスやツールを迅速に構成するために必要なレシピを保存するためのデータベースを備えています。レシピの構成は簡単で、いくつかのステップで達成することができます。モデルは2つのモードで作動することができます；手動操作か十分に自動化された操作。マニュアルモードでは、目的の製品を得るためにプロセス調整を行うことができるグラフィカルインターフェイスメニューを使用して操作が指示されます。完全に自動化されたモードでは、プロセスは順番に最適化され、その後の実行で最適な堆積のための機器を準備します。システムは、さらなる自動化を可能にするために、いくつかのツールを使用して構成することができます。リニアモーターステージと水平サンプルホルダーを使用してプロセスを自動化し、検証することができます。さらに、MRC 603を外部のガスラインに接続して、制御された一定のガスをチャンバーに流すことができます。排ガスされた粒子は、現場の粒子監視システムで監視することができます。要約すると、603スパッタリングユニットは、薄膜蒸着ニーズのために設計された高度なツールです。強力なエンジニアリング設計、堅牢な構築、直感的なユーザーインターフェイス、自動化された操作、および柔軟性と最適化のための幅広いツールを提供します。