中古 MRC 603 #9082895 を販売中

MRC 603は専門の企業の範囲の使用のために設計されているスパッタリング装置です。このシステムは、金属膜を基板に同時に堆積させることを可能にするいくつかのコンポーネントで構成されています。主成分は三極マグネトロン式カソードとアノードからなるR&Dスパッタリングツールです。カソードには、チタン、クロム、アルミニウム金属のるつぼが装備されています。金属はスパッタ温度に加熱され、基板に向けられたエネルギーイオンが生成されます。スパッタリングツールと一緒に、ユニットには蒸化器コーンと真空チャンバーが含まれています。蒸発器の円錐形は真空の部屋にケイ素か酸素のような小さい非金属化合物を、持って来、基質に蒸発させるのに使用されています。真空チャンバーは、蒸着速度を向上させるために低圧環境を維持するために使用されます。603はまた、スパッタリングプロセスを強化するための多くの機能を誇っています。陽極はカソードの速く、遅い電源を独自に制御するように設計されています、沈殿の率を微調整することを可能にします。さらに、機械にはマイクロコーディング圧力計が装備されており、チャンバー内の精密な圧力制御が可能です。RFジェネレータは、スパッタリング速度を高速化するマグネトロンカソードに電力をチャネル化するために含まれています。最後に、薄膜の成膜速度を制御するための設定可能なシャッターがあります。MRC 603は材料および調節可能な変数の広い選択の優秀な均等性そして反復性を達成します。このツールは、大規模な生産やさまざまな基板上の特殊コーティングを達成するために特に便利です。また、低消費電力であり、費用対効果が高く環境に優しいことでも知られています。これらの機能のすべては、603をさまざまな業界にとって理想的なスパッタリングアセットにします。