中古 MRC 603 #293793111 を販売中

MRC 603は、ナノメートルスケールで材料の薄い層を堆積するために使用される高性能スパッタリング装置です。トライフォーカス磁界を有するマルチターゲットロータリーカソードを採用し、各種基板におけるスパッタ率、均一性、均一なコーティング厚を最大限に発揮します。さらに、ターゲットの角度を調整し、スパッタレートと均一性パラメータを最適化することができます。最大3つのスパッタリングチャンバーをサポートすることで、フラットパネルディスプレイ、自動車用ガラス、有機発光ダイオード（OLED）などの大型基板をコーティングできます。ユニットはモジュール式でカスタマイズ可能で、お客様のさまざまなニーズに合わせたカスタマイズ構成が可能です。これには、さまざまなチャンバーサイズとターゲット、および耐久性と柔軟性を高めるための調整可能なガスラインが含まれます。プロセスチャンバーはステンレス鋼から構成され、汚染物質からの強力な保護を提供します。直径は8インチから24インチまで調整可能で、さまざまな基板サイズと厚さをサポートします。MRC 603のDC電源は、最大100kWの電力を供給することができ、コーティング工程でのスパッタ率の向上を可能にします。さらに、電位と電流を正確に制御し、正確で反復可能なコーティング結果を実現します。統合されたスパッタプロセス制御マシンは、正確でユーザー定義のプロセスパラメータを可能にし、コストと時間の効率を最大限に高めます。このツールは、低圧パルスDC、マグネトロン、サーマルなど、さまざまなモードで動作できます。603はまた陽極および2つのマグネトロンを特色にするように形成することができます。これにより、2つまたは3つの独立したターゲットを同時にスパッタリングすることができ、均質性の向上と再現性の高いパフォーマンスを提供します。アノード電源も調整可能で、顧客はターゲットの寿命を延ばすことができます。MRC 603には、安全グランドワイヤーや4つの圧力計インジケータなど、さまざまな安全性と保護機能があり、ユーザーと資産の安全性を確保します。さらに、このモデルの汚染防止モジュールは、交換可能なカーボンフィルターを使用して、ターゲットの表面を汚染および酸化から保護します。全体的に、603スパッタリング装置は、薄膜の精密スパッタリングのための高度なツールです。モジュラー設計と幅広い機能により、カスタマイズ可能で費用対効果が高く、高性能なコーティング結果が得られます。