中古 MRC 603 #293666830 を販売中

MRC 603は、Nova Instruments、 Inc。が薄膜蒸着プロセス用に設計および製造した汎用性と信頼性の高いスパッタ装置です。このシステムは、円形の9ビン4アームタレットを備えており、最適な蒸着形状と幅広いプロセス柔軟性を提供します。タレットには最大6つの異なるプロセスまたは材料を制御できる充電カードが組み込まれています。603は、タッチスクリーンPLC、独立したDC powersupplies、およびプロセス封じ込め機能を備えた、完全に自動化されたプロセス制御を利用しています。これにより、堆積物が再現可能で安全であることが保証されます。このユニットは、DCとRFのスパッタ構成の両方に対応するように設計されており、ユーザーは正確なプロセスニーズに合わせてマシンをカスタマイズすることができます。このツールのコントロールステーションには、プロセス監視用に最大20種類のレシピを保存できます。MRC 603にはガス処理マニホールドが内蔵されており、アセットを既存の真空インフラストラクチャに簡単に統合できます。最大2。5L/minのガス流量で、プロセスチャンバーへのガスの効率的な供給を可能にします。また、オープンデザインのHF/DCジェネレータは優れたエッチング均一性を実現し、デュアルマグネトロン設計は理想的なスパッタリング環境を提供します。603の追加機能には、十分なプロセス面積と高スループットを提供するように設計された91インチのチャンバーが含まれます。6インチのテフロンウィンドウを使用すると、インジウム、タングステン、モリブデン、アルミニウム、ステンレス鋼、合金などのプロセス材料をスパッタすることができます。テフロンウィンドウは、薄膜太陽光発電などの光学アプリケーションにも優れた光学透明性を提供します。全体的に、MRC 603は、ラボレベルの薄膜蒸着プロセスをサポートするために必要なすべての機能を備えた高品質のスパッタリングユニットです。この機械は効率的で信頼性が高く、費用対効果が高く、高度な機能と相まって、大規模な産業用途にも適しています。