中古 MRC 603 #293628797 を販売中

MRC 603は、薄膜の物理蒸着（PVD）用に設計された完全自動スパッタ装置です。これは、研究から生産に至るまでの操作とプロセスのために設計されています。強力なスパッタリングシステムは、再現性の高い材料の滑らかで均一で精密な沈着を必要とするあらゆる用途に適しています。603には、異なる材料タイプで構成できる6つのカソードがあり、PVDプロセスを幅広い要件に調整することができます。MRC 603のユニークな設計により、静止構成から回転構成までの複数のカソード構成が可能です。このユニットはバイアスも可能であり、基板を最大限の効率と速度で処理することができます。603には、反応性スパッタリングに適したオンボードプラズマ発生器があります。このプロセスは、信頼性の高い均一な堆積を達成することを強くお勧めします。MRC 603の高度なソフトウェアスイートは、正確なスパッタリングパラメータを設定および制御できるため、高品質の均一なフィルムを保証します。603の堅牢な設計により、高出力動作が可能となり、スループットの高い厚膜の成膜が可能となります。この機械はプロセスパラメータおよび操作を運転するためにプログラム可能なコントローラーを利用するように独特に設計されています、容易なカスタマイズおよび再現性を可能にします。MRC 603は、高いスパッタリング速度でフィルムを効率的に成膜するために、設計に組み込まれた完全自動化された基板加熱/冷却ツールを備えています。これにより、基板温度を正確に制御し、高い均一性を持つ再現性のある膜を実現できます。603はさまざまなインターロックおよび安全システムが設計の内で埋め込まれる広い適用に、カスタマイズすることができます。これにより、敏感基板および高純度フィルムの処理中にオペレータの安全性が保証されます。MRC 603は汎用性が高く、信頼性が高く、革新的なスパッタリングアセットです。研究用途での使用に適しているだけでなく、その豊富な機能により、生産にも最適です。フィルムスタックアセンブリのような上限の適用は、精密、反復可能な、精密なフィルム603を沈殿させることができます利用できます。