中古 MRC 603 #201033 を販売中

MRC 603はMRCが製造したハイエンドスパッタ装置です。それは特に薄い金属および酸化物の生産のために設計されています。このシステムは、金属、合金、酸化物、化合物などの幅広い材料を堆積することができます。スパッタリングターゲットは2つあり、最大サイズは300mmです。どちらのターゲットも最大200kVのDC電圧を生成でき、電源は最大25kWまで調整できます。この電極はDC電源を使用して給電されるため、最大4。5nm/minの蒸着速度に達することができます。603は、さまざまなサイズのターゲットを基板上に正確に配置することを可能にする高性能ターゲット位置決めマシンが装備されています。また、高度なスパッタリング制御ツールを備えており、材料の精密かつ再現可能な堆積を可能にします。スパッタリング資産はまた、手動オペレータの介入なしに正確な調整を確実にするターゲットダイシングプロセスで、迅速な材料移動が可能です。この機能は、敏感な材料や小さな材料を扱うときに非常に便利です。MRC 603には、蒸着に最適な条件を維持するための自動圧力バランシングモデルもあります。真空環境から高圧環境まで、さまざまな圧力条件で動作することができます。また、高度な断熱と冷却機能を備えており、スパッタリングの正確な結果を保証する多くの放熱機能を備えています。イオン化システムを内蔵しており、汚染のリスクを低減します。全体として、603は薄い金属および酸化物を作り出すことができる有効で、信頼できるスパッタリングユニットです。それは耐久で、最低の手動介入と精密な結果を作り出すことができます。機械の高度の特徴はそれをあらゆる上限の沈殿の必要性のための大きい選択にします。