中古 MRC 603 #123175 を販売中

MRC 603は、さまざまな生産要件を満たすように構成することができる最先端のモジュラースパッタリングシステムです。真空チャンバー、自動化されたコントローラ、およびいくつかのスパッタ源で構成されています。真空チャンバーは、304グレードのステンレス鋼で作られた堅牢な楕円チャンバーで、スパッタ材料の基板への高収率の接着を容易にする高真空環境を作成することができます。自動化されたコントローラーによって活動化させる荒い真空ポンプおよび高真空ターボポンプが装備されています。自動化されたコントローラーはスパッタリングの変数の精密な制御を提供し、ユーザーがスパッタ源が動く率およびスパッタされた材料の質を非常に改善し、ダウンタイムを減らすことができるマグネトロンの電源を調節することを可能にします。スパッタ源には、交換可能な蒸着源とスパッターガンが含まれます。堆積源は通常、銅、クロム、アルミニウム、チタンでできており、スパッタ材料を基板に堆積させることができます。スパッタガンは、チャンバーに金属などの材料を堆積するために使用されます。さらに、603は、内蔵のRFプラズマクリーニングシステム、チャンバーの安全なシールド、緊急停止スイッチなど、いくつかの安全性と高度な技術を備えています。MRC 603は、産業および研究レベルのプロセスに最適な汎用性と信頼性の高いスパッタシステムです。これは、最高の収率とスパッタ材料の最高品質の堆積を基板に提供するように設計されています。