中古 MRC 600 #9248407 を販売中

MRC 600は、様々な基板に薄膜を堆積させるために使用されるスパッタ装置の一種です。このような蒸着プロセスでは、ガスをイオン化してターゲット物質に向かって加速し、その物質の原子を取り出して基板上に薄膜を形成する。このタイプのシステムは、半導体業界だけでなく、光学やデータストレージなどの他の業界でもよく使用されています。600は10ナノメートルから1000ナノメートルの範囲のフィルムの良質の沈殿を達成できる真空のスパッタリングユニットです。それは機械およびターボ分子ポンプによって1 x 10-6 torrの真空を達成できるステンレス鋼の部屋と造られます。それは8つの分離可能なDC平面のマグネトロンによって動力を与えられ、スパッタリング条件の最適化を可能にします。チャンバーは、コニカル形状のターゲット設計で構築され、統合基板回転と基板ヒーターが含まれています。この機械には、ビデオディスプレイ、リモートエレクトロニックコントロール、電源異常警報など、いくつかの電気部品と便利な機能が装備されています。MRC 600は、操作が簡単で、迅速かつ柔軟な生産プロセスを可能にする信頼性の高いツールです。これは、バッチと連続蒸着の両方が可能であり、オプションの追加としてロードロックを利用できます。誘電体、導電性、光学フィルムの成膜に最適です。また、均一な薄膜コーティングのためのクローズドループRF電源、性能向上のためのアルゴン注入モデルを備えています。結論として、600は信頼性の高い効率的なスパッタリング装置であり、半導体や光学産業などのさまざまな基板に薄膜を効率的に堆積させたいユーザーに最適です。フィルムの成膜性を高め均一な成膜を可能にする機能とコンポーネントを備えており、ユーザーは高品質な結果を得ることができます。