中古 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 602B #9203526 を販売中

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 602Bは、金属、誘電体、酸化物などの薄膜材料の成膜用に設計された高精度、高効率スパッタ装置です。厚さのバリエーションが豊富で表面特性のコントロールに優れた均一で高品質なフィルムを製造することができます。MEIVAC 602Bは、マグネトロンスパッタリング技術を使用しています。これには、チャンバー内で生成された加速イオンが堆積物のターゲットと衝突します。このユニットは、標準化に加えてカスタマイズのためのさまざまな機能を備えており、薄膜成膜のための信頼性の高い選択肢となっています。ALCATEL 602Bには直径200mmのチャンバーと2つのターゲットが装備されています。真空ポンプはルーツとターボポンプの両方で構成され、最大8x10-7 Torrに達し、幅広い材料で動作することができます。また、熱交換器で温度を制御し、基板と蒸着温度を正確に制御することができます。DC、 dB、パルスパワーレベルなどのさまざまな電源、および調整可能な周波数および基板バイアス機能も利用できます。マシン全体は、選択したプロセスのために毎秒100アングストローム以上の速度で動作することができます。さらに、602Bには特殊なバルブ、ガス混合ツール、およびフィルムを正確に堆積させる高度なオートメーション機能が装備されています。使いやすいインターフェイスにより、ユーザーはプロセスパラメータをリモートで監視することができ、さまざまな堆積アプリケーションに最適です。このアセットは、より大きな生産ラインに統合することも可能であり、追加のコンベア、ウェーハローダー、および特殊なノズルモジュールを使用して、最高の精度と柔軟性を提供することができます。全体として、COMPTECH 602Bは、高品質で高品質の均一なフィルムを幅広い用途に生産することができる高度なモデルです。精密スパッタリング技術を使用することで、ユーザーはさまざまな材料や基板において正確で信頼性の高い結果を生み出すことができます。この装置の高度な機能とオートメーション機能は、ユーザーにさらに高度な制御と精度を提供します。