中古 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9261538 を販売中

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460スパッタ装置は、さまざまな材料の薄膜をさまざまな基板に堆積させるための高度で汎用性の高い信頼性の高いツールです。それは洗浄、コーティングおよび絶縁薄膜に起因する化合物の複数の層の高スループット沈着のために設計されています。このツールのモジュール設計は、プリント、フラットパネルディスプレイ、センサー、バイオメディカルデバイスなど、さまざまな用途で最大3つの協力ターゲットに薄膜の成膜および特性評価に適しています。MEIVAC 2460には、絶縁弁とターボポンプを備えた超高真空ポートからなる真空チャンバーが装備されています。このチャンバーには、正確に制御された低圧環境を提供するガス制御システムも装備されています。このユニットは、全圧のアクティブ制御を提供し、スパッタリングや薄膜の特性評価に使用されるさまざまなガスから選択することができます。さらに、温度安定化のための内部水冷装置と、基板導入の様々な可能性を提供する堅牢なターゲットサポートを備えています。蒸着プロセスは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えたPCベースのエレクトロニクスツールによって制御されます。ALCATEL 2460は、共同蒸着源、高い電力源、特殊設計されたソースなど、さまざまなスパッタ源を備えています。各ソースは、パフォーマンスを最適化し、設計された品質結果を保証するために、プロセスと基板に正確にマッチしています。スパッタ源は、Ar+、Ar++、反応ガスイオンなどの幅広いイオン種を提供し、堆積速度と均一性の微調整を可能にします。Co-depositionソースは、制御されたマイクロ構造を持つ様々な層の構造を生成することができます。COMPTECH 2460スパッタアセットは、優れた性能、信頼性の高い操作、カスタマイズ可能な構成を提供します。それは操作変数および沈殿プロセス上の制御のフルレンジを提供します。これにより、真空チャンバ内のプロセス監視と、多種多様な精密プロセス機器による優れたプロセス制御が可能になります。抵抗特性、容量特性、光学特性、磁気特性を必要とする用途向けのフィルムの作成に最適で、高精度で高いスループットで優れた材料蒸着が可能です。2460スパッタモデルは、信頼性の高い高性能な薄膜層で基板をコーティングするための最適なツールです。