中古 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 HEDA #9203525 を販売中

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460 HEDAは、半導体やディスプレイ製造など様々な用途に使用される汎用性の高いスパッタ装置です。これは、高純度の窒化ホウ素とダイヤモンドのような炭素層に起因する薄膜堆積の生産のために調整されています。このシステムは、シリコン酸化物、窒化物、炭化物などの成膜対象物質の広範なスペクトルを生成することができるほか、スパッタエッチング、反応性スパッタリング、イオン注入などのプロセスを実行することができる。MEIVAC 2460 HEDAは、一度に最大15個のウェーハをデポジットできるため、ユーザーは時間を節約してスループットを向上させることができます。また、高品質で高性能な水晶フィルムを製造しています。マグネトロンスパッタリングなどの高度な技術は、制御性を向上させ、正確かつ均一なコーティングを向上させるのに役立ちます。このユニットの高度なプロセス制御および監視システムにより、ユーザーは堆積プロセスをリアルタイムで監視、診断、変更することができます。ALCATEL 2460 HEDAは、4つの独立した高密度イオン源と4つのクラスタ高電流電源を使用して、高効率のアルミ化プロセスとターゲットコーティングを実現し、薄膜の高品質な成膜を実現します。また、現場監視およびデータロギング機能を備えており、基板温度、チャンバ圧力、バイアス電圧を調整して正確な結果を得ることができます。このツールは非常にユーザーフレンドリーで、さまざまな材料やプロセスを簡単にプログラムできます。2460 HEDAはまた、最高の環境基準を満たし、エネルギー使用量を削減するように設計されています。UL、 CSA、 CEなどの主要な環境認定機関の要件を満たすようにテストされています。この資産には、停電や故障時の自動シャットオフなどの高度な安全機能も装備されています。全体的に、COMPTECH 2460 HEDAは優れた性能と預金品質を提供する高度なスパッタリングモデルです。多種多様な用途に最適で、高度なプロセス制御・監視システムにより、ユーザーは高精度の薄膜成膜結果を得ることができます。この装置は、高精度の結果を効率的かつ省エネに求めるユーザーに最適です。