中古 LEYBOLD Web 750sp #9030297 を販売中
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ID: 9030297
PV sputter web coating system
Coating speed up to 3 m/min for solar cell transparent front contact coating
Coating width of 500 mm (can be extended up to 1500 mm)
Dry vacuum pumping system with high water vapor pumping speed
Integrated on-line process control
Deposition speed: max line speed is limited to 1 m/min
Web width: limited to 600 mm wide web with an effective coating width of 550 mm.
LEYBOLD Web 750spは、幅広いスパッタアプリケーションを容易にするように設計された最先端のスパッタ成膜装置です。超薄膜スパッタ蒸着モジュールを内蔵しており、純金属から複雑な多成分合金や酸化物まで、独自の薄膜蒸着を実現します。Web 750spは12 x 8インチの広いアクティブスパッタリングエリアを備えており、最大面積カバレッジを提供し、より大きな基板のスパッタリングを可能にします。また、パルスDCマグネトロン技術を使用して、最適な性能と優れた均一性、接着性、組成再現性を備えた薄膜構造を堆積する能力を提供します。LEYBOLD Web 750spには、堆積プロセスを監視するのに役立つ統合されたコンピューター制御および可視化システムが含まれています。このユニットは、シンプルで効率的な操作を可能にするユーザー定義パラメータを備えた自動化されたアプローチを提供します。Web 750spには柔軟なモジュールマシンも含まれており、ユーザーのアプリケーションのニーズに応じてツールをカスタマイズできます。LEYBOLD Web 750spは高純度ガス分布を備えており、ArからO2、 N2までの幅広いプロセスガスを使用して、スパッタリング前とスパッタリング中にチャンバを最適にパージできます。このアセットは、基板スパッタリング用の石英およびセラミックターゲットの範囲も提供しています。Web 750spは、簡単な操作のための直感的なユーザーインターフェイスと、異なる基板材料を簡単に切り替える機能を提供します。また、スパッタプロセス事故のリスクを軽減する機能として、特許取得済みの独自のセーフスタートシステムも搭載しています。さらに、イオン爆撃とスパッタ洗浄機能のためのイオン源の範囲を提供します。全体的に、LEYBOLD Web 750spは、幅広い用途で高品質の薄膜成膜を提供できる優れたスパッタリングユニットです。その直感的な制御機械は、高度なガス配分とSafe-Start Toolと組み合わせて、スパッタリングプロセスに最適です。
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