中古 LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848 を販売中

LEYBOLD OPTICS Pegasusは、高品質の薄膜コーティングを製造するために設計された、最先端の強力なスパッタ成膜装置です。それは試みられ、証明されたLeyboldの真空技術で造られ、裏付けポンプ、GD2004/QDデジタルコントローラー、よく設計された負荷ロックおよび2つの異なったマグネトロンスパッタ源が付いているターボ分子ポンプから成っています。さらに、このシステムは、正確で信頼性の高い基板位置決めとロードロック温度制御、およびin-situソース温度およびステージパラメータ最適化を備えています。これにより、最小のエネルギー入力と歩留まりの最適化が可能になります。ユニットの主炉には、ステンレス製のチャンバーシールドが装備されています。それは人員、部品およびコーティングに最高の保護を提供するように設計されています。チャンバー全体には、保護機能を追加するための高速開閉および再閉止の安全扉も含まれています。レイボルド・ペガサスは、DCとパルスの両方のパワーレベルで動作するデュアル・マグネトロン源と、高密度イオン爆撃用のECRNイオン源を使用しています。最大6E-2 Torrの圧力で動作し、基板間距離は最大60mm、チャンバー開口は最大16インチです。さらに、基板サイズは2〜15インチの範囲で、スパッタ出力は最大3kWです。機械は手動で操作されたサンプルホルダーで機能し、金属、誘電体、酸化物、ポリマー、合金などの導電性および非導電性材料の堆積を可能にします。また、蒸着時の温度制御用の基板冷却ツールを内蔵しており、最大8 µm/minの蒸着速度が可能です。さらに、Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasusには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、プロセス監視アセット、および正確なコーティング厚さ制御を保証する温度モニタが含まれています。これらの機能はすべて、精密かつ再現性のある結果に貢献し、フラットパネルディスプレイ開発、光学フィルム沈着、トライボロジックコーティング、医療部品および機器製造などの多くの産業用途に理想的なツールとなります。