中古 LEYBOLD HERAEUS Z550SS #9105299 を販売中

LEYBOLD HERAEUS Z550SSは、DC/RFデュアルマグネトロンベースの物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。基板に薄膜を堆積させるスパッタリングプロセスには、2つのマグネトロン源を使用しており、プロファイル形状と均一性を正確に制御する優れたコンフォーマルコーティングを実現しています。スパッタリングシステムは、4つのプロセスチャンバーで構成されています。6 "× 6" × 8"（152 mm × 152 mm × 203 mm）のウィンドウサイズの大きなプロセスチャンバーと、最適なプロセス歩留まりと最小のクロス汚染のために特別に設計された3つのはるかに小さなチャンバです。プロセスチャンバーにはガスアウトレット接続もあり、プロセスガスを外部ソースから直接供給することができます。このユニットは、プロセスチャンバーと現場洗浄の両方に独立したガス供給システムを使用しており、一貫した結果をもたらすプロセスパラメータを効率的に制御します。スパッタリングマシンZ550SS、長寿命で高出力のイオン源を備え、効率的なスパッタリングのための高いガス圧力を備えています。また、高度なデジタルRFパワーコントロールを使用して、蒸着速度、最大イオン電流、プロファイルカバレッジの均一性を正確に制御します。このツールには、堆積プロセスの詳細な分析を提供し、堆積パラメータを最適化するためのデータ処理アセットが装備されています。さらに、最適な基板温度で効率的に蒸着するための自動温度制御装置を搭載しています。LEYBOLD HERAEUS Z550SSスパッタリングシステムは、直感的なソフトウェア、プログラム可能な自動コントロールパネル、およびクイックビジュアルリファレンス用のクリアLEDインジケータを備えた簡単な操作のために設計されています。さらに、他のスパッタリングシステムとの互換性のために設計されており、ユーザーはユニットのメイクやモデルに関係なく情報を交換することができます。その強力な機能と汎用性の高いソフトウェアを備えたZ550SSは、プロファイル形状と均一性を正確に制御して薄膜を効率的に堆積させるための理想的なスパッタリングマシンです。