中古 LEYBOLD HERAEUS Z550SM #9235453 を販売中

LEYBOLD HERAEUS Z550SMは生産および研究の適用のために設計されている強力で、多目的なスパッタリング装置です。それは基質に異なった材料の薄い層を沈殿させるのに使用することができます。このシステムは、スパッタカソード、真空チャンバー、電源、および多くの高度な機能で構成されています。Z550SMは、マグネトロンとイオンビームスパッタ蒸着プロセスを使用して、異なる材料を基板にスパッタリングすることができます。スパッタ源は高出力多位円形マグネトロンで、純金属、合金、セラミックスのスパッタに使用できます。イオン源には、高分解能構造の堆積のための多分散ビームプロファイルがあります。この電源は、スパッタリングプロセスに最大24kWの電力を供給することができ、蒸着速度を調整するための調整可能な周波数制御ユニットを備えています。LEYBOLD HERAEUS Z550SMの真空チャンバーは、動作圧力範囲が2 x 10-8 mbar〜5 x 10-2 mbarの高真空機です。このツールは、エリミネーションバルブで密閉されており、バヤードアルパートイオン化ゲージを採用しています。Z550SMにまた基質の位置そして傾きを調節するのに使用することができる持ち上がるプラットホームがあります。スパッタリングアセットは、信頼性と再現性の高い結果を保証する自動プロセス制御とエンドポイント検出機能を備えています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、モデル全体を簡単に監視および制御できます。あらかじめ定義されたレシピエディタは、さまざまなスパッタリングプロセスに関連するすべてのパラメータを保存し、ユーザーが独自のレシピを作成して保存することができます。装置はまた装置の偶発的な操作そして積み過ぎを防ぐ多数の安全機能を含んでいます。全体的に、LEYBOLD HERAEUS Z550SMは、高度な機能を通じて正確な制御と信頼性の高い結果を提供する強力で汎用性の高いスパッタリングシステムです。このユニットは、生産および研究用途の両方に適しており、異なる材料の薄い層を基板に堆積させるための理想的な選択肢です。