中古 LEYBOLD HERAEUS Z550MS #31347 を販売中
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ID: 31347
ヴィンテージ: 1987
Sputtering system
Load lock system
Mechanical component:
Frame with liner
Vacuum chamber with sight glass
Chamber lid with bores for mounting cathodes
High vacuum valve NW 150 with throttle position
Electrical component:
Rack cabinet, 19"
Switchboard including fuses and connections
Pumping system with turbo molecular pump and vacuum gauge control
Vacuum gauge controller
IM 110 D Ionization vacuum gauge
D40B Rotary vane pump:
(2) Stages
Pumping speed 40 m³/h
Flow control:
(2) Gases complete with sensor
Control valve
Control rack
Digital indication
Backing plate
Substrate load lock:
Load lock including high vacuum valve
Electro pneumatically operated
Load lock
Pumping system
Vacuum gauge controller
DC Sputtering equipment:
DC Power supply type: SSV 3.5
Power: 3.5 kW
Maximum voltage: 600 V
Cathode selector switch
(4) High rate cathodes PK 150:
Complete with magnets and insulators without target material
Substrate carrier:
Made of Aluminium, insulated for RF bias and RF etching
Infrared heating station
Shutter
Special aperture diaphragms
Sputtering timer
(4) Targets:
1st Target: Pt
2nd Target: Pd
3rd target: NiCr
RF Equipment:
RF Generator: RF Sputtering / RF Etching IS 2.5
Process switch
RF Etching and RF Bias in process module
Control system upgraded
Manuals
1987 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550MSは、表面に薄膜コーティングを生成するために使用されるスパッタリング装置です。金属やポリマーなど様々な基板に薄膜を適用できる高効率で費用対効果の高いシステムです。Z550MSは強力な4kW電源と使いやすいデジタルコントロールを備えており、高速で正確な調整を可能にします。その内蔵圧力制御ユニットは、チャンバー圧力を正確に制御することができ、最適なプロセス結果を可能にします。このマシンはマルチソース機能も備えており、異なる材料の同時スパッタリングを可能にします。LEYBOLD HERAEUS Z550MSのスパッタリングターゲットは、厚くて高性能なカーボンとアルミ合金材料でできています。含まれている2ゾーンターゲットは均一なコーティングを作成するためによりよい電力配分を可能にします；また、スパッタ率を向上させ、オフターゲットスパッタリングを削減するのにも役立ちます。また、2ゾーンターゲット設計により、複数の異なる材料をスパッタする際の負荷時間を短縮し、フィルムの均一性を向上させることができます。Z550MSは、スパッタ速度を向上させ、プロセスの均一性を向上させ、全体的なコーティング時間を短縮する画期的なハイレートスパッタリング技術を使用しています。強力なビーム冷却ツールは、ソース間の浸食を低減し、より広範囲の堆積条件を可能にします。LEYBOLD HERAEUS Z550MSのスパッターヘッドは、高精度スパッタリング動作用に設計されており、調整可能な傾斜センサーを備えており、広範囲にわたって正確な蒸着速度を実現しています。また、リモートモニタリングと正確な層間制御と監視を可能にするデジタルコントロールを備えた直感的なLCDタッチスクリーンを備えています。この資産は、金属、酸化物、窒化物、およびセラミックターゲットをスパッタリングすることができます。Z550MSのモジュール設計は容易なクリーニング、維持および改善の機能を可能にします。それはあなたのセットアップに安全性と利便性を追加し、チャンバーから出ているときに自動的にターゲットをロックする簡単な負荷ターゲット安全モデルが付属しています。LEYBOLD HERAEUS Z550MSはまた、パフォーマンスを向上させ、最高品質の薄膜を確保するために、in-situ基板加熱装置と内蔵のヘリウムリーク検出器を備えています。結論として、Z550MSは様々な基板上で高品質の薄膜を生成する能力を提供する強力で効率的なスパッタリングシステムです。その信頼性の高いコンポーネント、ユーザーフレンドリーな設計、および複数の機能により、スパッタリングアプリケーション用の手頃な価格で効率的なソリューションをお探しの方に最適です。
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