中古 LEYBOLD HERAEUS Z550 #9237887 を販売中

LEYBOLD HERAEUS Z550スパッタリング装置は、異なる表面に均一な厚さのフィルムを製造するために設計された高精度エッチングツールです。表面精度に優れ、極めて高精度な膜厚を実現し、MEMS、太陽電池、半導体デバイス、コンデンサ、オプトエレクトロニクスデバイスなど、幅広い薄膜システムを実現しています。LEYBOLD HERAEUS Z 550は、ユニークなLEYBOLD HERAEUS OpenArcドームスパッタリングヘッドを使用して、表面全体に均一で一貫したプロセスを提供します。このシステムは可変的なプロセス圧力機能を提供し、調節可能なガスの流れおよび非常に有効な二次イオン化源が付いている10-4 mbarプロセス圧力を可能にします。多結晶性、アモルファス性、ナノ結晶性など、様々な膜形成が可能です。HERAEUS Z550は、高度な光学ピロメータを使用してプロセスパラメータを監視および調整する機能によってさらに強化されています。この機能は、均一で正確な成膜とコンフォーマルフィルムプロセスを保証するための自動温度制御を提供します。Allen Bradleyオートメーションを使用すると、ユーザーはさまざまなプロセスのためにユニットを素早くプログラムすることができます。Windowsベースのソフトウェアにより、ターゲットアパーチャ、ドーム回転、ガスの流れ、圧力などのコンポーネントを簡単にセットアップできます。Z550はまた追加の安全のための作り付けの過圧機械と設計されています。このツールは、HV電源を備えた低電圧DCマグネトロンによって駆動され、高レートの蒸着が可能です。この資産には、ロードロックチャンバー、ロボットウェーハハンドリングシステム、温度センサー、高圧バルブも含まれており、さらなる安全性が確保されています。LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550は、低汚染生産環境のために設計されており、HEPAフィルタリングクリーニングモデルも装備されています。Z 550スパッタ装置は、最新の高精度フィルム製造のための強力で汎用性の高いツールです。このシステムは、エレクトロニクス、医療、オプトエレクトロニクス、ナノテクノロジー、航空宇宙産業での要求の厳しいアプリケーションに最適です。LEYBOLD HERAEUS Z550は、最先端の技術を活用して、幅広い用途に信頼性の高い正確な成膜を提供するように設計されています。