中古 LEYBOLD / BALZERS Z 650 #9026903 を販売中

LEYBOLD/BALZERS Z 650スパッタリング装置は、無線周波数（RF）エネルギーを使用して、さまざまな基板に薄膜を堆積させます。このシステムは、金属、複合材料、合金の高品質スパッタリング用に設計されており、6ソースのイオン源とバランスの取れたRFジェネレータを備えています。LEYBOLD Z 650は、堆積膜の表面に優れた再現性と優れた粗さで、最大2nm/sの高い蒸着速度に達することができます。BALZERS Z 650は、優れたフィルム特性を有する薄膜の均一な蒸着のための超低エネルギー電子源を備えています。電子エネルギーが低いため、イオンをプラズマから抽出して基板に移すことができ、成膜損失がほとんどないため、成膜の均一性が得られます。さらに、電子源は非常に低い基質バイアスを提供することができ、その結果、汚染物質の吸収が低く、接着性が良く、保存寿命が長い非常に均一な薄膜が得られます。Z 650は、薄膜の再現性と再現性のある成膜を実現するために自動化されています。圧力、温度、電力、持続時間などのプロセスパラメータは自動的に制御され、堆積膜の再現性と再現性を向上させ、スパッタリングマシンの連続動作を保証します。LEYBOLD/BALZERS Z 650ツールは、自動緊急停止、振動監視アセット、圧力変動時の自動シャットダウンなど、豊富な保護機能を備えています。これらの機能は、モデルをよりユーザーフレンドリーにするだけでなく、機器のより良い安全性と性能を保証します。最後に、LEYBOLD Z 650には、ビデオカメラ、水晶モニター、質量分析計など、さまざまなモニタリングデバイスが装備されています。これらの特徴により、堆積プロセスの継続的な監視が可能となり、堆積膜の厚さ分布、地形、均一性に関する詳細な情報が得られます。