中古 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9213031 を販売中
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ID: 9213031
Sputtering system
With load-lock
Sputter down:
Cathodes with D: 75 mm
Possible with adapter flange D: 100 mm
(6) Cathodes: D= 150 mm
Automatic lock
Substrate carrier fully automatic
Height adjustable turntable version
Coating static
Rotating
Oscillating with angle specification
6-8 Substrate positions with (150) cathodes
6-Substrate positions with (200) cathodes
HF Etching
Rotary cover
Microprocessor control
(40) Coating programs: From (120) parameter sets
Plant and process visualization: 9" Operating terminal
Pumping system
D65BCS
TMP 1000
Lock D8B.
LEYBOLD/BALZERS Z 590は、チャンバー内部に高品質の材料を堆積させることができるスパッタリング装置です。マグネトロンスパッタリング法を利用して、チャンバー内側の材料の均一な分布を作成します。LEYBOLD Z 590は、作成された磁場と電力を使用して非常に高い蒸着速度を生成することができます。このシステムは、金属、合金、さらには酸化物などのさまざまな種類の材料を処理することができます。BALZERS Z 590は、磁石と電界の両方で構成される高度な磁気電気アセンブリを採用しています。この技術は、高い沈着率を提供しながら、比較的短時間で迅速なサイクルタイムを可能にするものです。電場は、働くガス(この場合、典型的にはアルゴン)をイオン化する働きをします。イオン化されたガスは、磁石に沿って加速され、材料が堆積されるチャンバー壁に加速されます。基板との接触を必要としないため、よりクリーンな蒸着が可能です。Z 590のセットアップは非常に簡単で、追加の特殊な機器は必要ありません。ユニットは、マグネトロンと基板ホルダーの両方を収容する自己完結型プラズマチャンバーで構成されています。電源もチャンバー内に配置され、ジョイスティックによって制御されて電圧と電流を調整します。チャンバーは、プリインストールされた機械式ポンプを使用して避難することができます。LEYBOLD/BALZERS Z 590は幅広い用途で使用できます。医療、自動車、航空宇宙用途向けの高品質コーティングの開発を可能にします。また、新規コーティングの生成や既存コーティングの評価などの研究開発にも適しています。さらに、この機械はナノ構造コーティングおよび先端材料の製造に理想的なプラットフォームを提供します。全体として、LEYBOLD Z 590は多目的で信頼性の高いツールであり、強力なスパッタリングプロセスを提供し、素晴らしい結果をもたらします。取付けが容易で、一貫して良質の標準で作動します。このアセットは、さまざまな分野のコーティング用途に非常に精密な成膜プロセスを提供します。
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