中古 KURT J. LESKER PVD 75 #9218896 を販売中

KJL KURT J。 LESKER PVD 75スパッタリング装置は、幅広い材料をコーティングするために使用される高性能で産業用グレードの薄膜蒸着システムです。物理蒸着（PVD）技術を利用して薄い金属層を基板に堆積させ、耐久性、耐腐食性、電気伝導性に優れたコーティングを実現します。このユニットは、ステンレス鋼、チタン、銅、ニッケル、クロムなど、ほぼすべてのターゲット材料からフィルムを製造することができます。PVD 75には、2「直径のソース材料チャンバーと2」直径のプロセスチャンバーがあります。ソース材料チャンバの電源は、可変周波数AC電源を介して供給され、調整可能な出力電圧と電流があり、蒸着速度を正確に制御できます。KURT J。 LESKER PVD 75は、静電バランスシャトルと特別に設計されたRFスパッタガンを使用して、基板上の材料の蓄積を低減し、沈着均一性を高めます。自動化された制御マシンは、電源、ガス圧力、基板温度、ソース材料温度などのスパッタリングパラメータを精密に制御します。また、PVD 75は、スパッタリングプロセスのパフォーマンスを監視し、プロセスが最適に実行されていない場合は自動シャットダウンを提供するオンボードの沈着センサーを備えています。組み込み機能に加えて、KURT J。 LESKER PVD 75は、ツールがさまざまな元素ターゲット材料をスパッタすることを可能にする2"直径の元素ソースを含むオプションのアクセサリーの範囲を提供しています、基板全体の均一性を高める高性能ロータリーソース。PVD 75は、密着性向上のための下層、耐食性のための保護層、および導電性金属層を堆積することも可能です。このアセットは汎用性と強力性の両方を備えており、産業用スパッタリング操作のための魅力的な選択肢となっています。セットアップと操作も簡単で、スパッタリングシステムに慣れていない人に最適です。