中古 KURT J. LESKER PVD 75 #185736 を販売中

KURT J。 LESKER PVD 75は、高性能な中周波シングルアークスパッタリングソース機器です。このシステムは、ロードロックチャンバー、真空トランスファーチャンバー、スパッタリング用のメインチャンバーを備えています。ベース圧力は2 x 10-7 Torrで、1 x 10-3 Torから2 x 10-8 Torrまで動作できます。PVD 75ユニットは、Eガンを搭載したスパッタリングチャンバーと、調整可能なターゲット保持治具で構成されています。これにより、複数のターゲットと基板の同時および独立したスパッタリングが可能になります。Eガンは高さと角度で調整可能で、ワーク全体の均一性を高めます。チャンバーには4つの機械式ロータリーポンプが装備されており、超高真空レベルと4つのターボ分子ポンプを達成して、より高いポンプ速度と究極の圧力に到達します。KURT J。 LESKER PVD 75は、幅広いコーティングを提供する汎用性の高いマシンです。誘電体、金属、酸化物、窒化物、および様々な導電性および半導体材料などのセラミックおよび非セラミック材料の堆積に使用できます。このツールは基板のサイズと形状に柔軟性があり、200 x 300 mmまでの基板に対応できます。スパッタ洗浄や基板脱気も可能です。PVD 75は信頼性が高く、メンテナンスが容易です。沈着速度の優れた再現性とメンテナンスサイクルの延長により、ダウンタイムを削減し、所有コストを最小限に抑えます。さらに、このアセット独自のendura-Proテクノロジーにより、電極と陽極の侵食を防ぎ、Eガンとスパッタカソードの寿命を延ばすことができます。全体として、KURT J。 LESKER PVD 75は、幅広い蒸着およびスパッタ洗浄用途に適した効率的で信頼性の高いスパッタリングモデルです。その優れた再現性と長寿命により、所有コストを削減し、生産性を向上させます。