中古 KURT J. LESKER Pro Line PVD 75 #9113549 を販売中

KURT J。 LESKER Pro Line PVD 75は、半導体製造のために設計された高性能スパッタリング装置です。コンパクトなレイアウトと自動化された制御機能により、産業用途に最適なソリューションです。それはさまざまな材料および厚さ、また他の基質の変更の陽極および陰極コーティングを作成することができます。Pro Line PVD 75は、高出力の直流（DC）ソース、2次元電動ステージ、ソリッドステート電源、およびフルコントロールモジュールを内蔵しています。DC電源範囲は1。2〜50kWまで調整可能で、基板温度を変化させることができます。クローズドループデジタルリードアウトシステムを搭載した電動ステージにより、基板位置を正確かつ再現可能に制御できます。また、スパッタリングプロセスにはRFジェネレータが使用されます。基板温度、成膜前、スパッタリングDC電源、ガス圧力などのプロセスパラメータは制御モジュールを介して設定でき、すべての情報がデジタル表示されます。SPI-75には、負荷ロックデポジションユニットと回転可能なターゲットホルダーも含まれています。このマシンは、さまざまなターゲット材料とさまざまなサイズに対応することができます。不活性ガス搬送ツールも統合されており、汚染レベルを最小限に抑えながら、より高い圧力を届けることができます。KURT J。 LESKER Pro Line PVD 75は、幅広い用途で高品質の成膜を実現するように設計されています。プロセスパラメータは、プロジェクト要件を最適化し、継続的に高品質の結果を保証するために調整することができます。この資産には、統計的プロセス制御のための設備も備えており、歩留まり、品質、および粒子汚染に対するインラインフィードバックが可能です。Pro Line PVD 75は、さまざまな成膜および基板変更プロセスを効率的かつ確実に実行する非常に有能なスパッタリングツールです。高度な自動化と高度な制御機能により、今日の高度なプロセス技術で最も一貫した結果をもたらしながら、高効率です。