中古 KURT J. LESKER CMS-24 #9235982 を販売中
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ID: 9235982
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Includes:
Control cabinet
TEK-TEMPERATURE INSTRUMENTS TKO-100 Chiller
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Manuals
Schematics and CD.
KURT J。 LESKER CMS-24は、優れた接着性と均一性を備えた薄膜材料を正確に堆積させるために設計された強力な高速スパッタ装置です。このシステムには、真空蒸発源、高出力の無線周波数（RF）スパッタリング源、精密な2軸自動段階、および自動in-situウェーハデイジー積み下ろしユニットなど、いくつかのコンポーネントがあります。真空蒸着源3Hybridは、蒸発して基板に堆積する材料を含むるつぼを加熱することによって薄膜蒸着を支援します。高出力インダクションヒーターにより設定温度に加熱され、幅広い範囲でソース温度とエンドポイント蒸着速度を正確に制御できます。RFスパッタリング源は、化学的に不活性な陰極基板に基づいており、広範囲にわたって高出力と蒸着速度で動作します。このソースは、優れた接着性、高い均一性、および低マイクロバンピング特性を備えた薄膜を製造することができます。これにより、基板上に堆積した薄膜材料の最適な均一性が保証されます。Precision 2軸自動段階は、温度、位置、蒸着速度を監視しながら、基板および蒸着源の正確なロボット位置決めを提供します。この機械は、ソースの正確なアライメントが可能であり、正確な薄膜蒸着を可能にします。さらに、現場での自動ウェーハデイジーローディング/アンローディングツールにより、ウェーハの処理効率が向上し、手動でウェーハを入力および整列することなく、パネルやキャリアの迅速かつ簡単なセットアップとロードを可能にします。また、ウェーハ基板を自動的にスクリーニングし、特定のサイズの許容範囲内であることを確認します。CMS-24スパッタリングモデルは、精密な薄膜成膜のための強力なツールであり、ユーザーは優れた接着特性で均一に堆積された高品質の材料を生産することができます。堅牢な機能と自動化されたin-situウェーハデイジーローディング/アンロード装置により、このシステムは、最も要求の厳しい産業要件において効率的で信頼性の高いフィルム成膜機能を提供します。
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