中古 KURT J. LESKER 1800 #9215079 を販売中
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ID: 9215079
Sputtering system
No load lock
Included:
(3) 3” Guns
Gun, 2"
(2) Gases
Cryo pump
Rotation and etch.
KURT J。 LESKER 1800スパッタリング装置は、半導体および表面処理用途向けの業界ワークホースです。薄膜成膜や精密スパッタリングに使用される自動成膜システムです。広い領域の処理に適しており、4つ以上の基板に対応する最大4つのロードロックに対応できます。1800は、シリコンウェーハ、ガラス、ポリマー、セラミックス、金属などの多くの基板に金属、合金、酸化物をスパッタすることができます。自動予熱から基板洗浄、基板加熱からスパッタ蒸着まで、蒸着プロセス全体を自動化するコントローラを搭載しています。コントローラを使用して、ユーザーはフィードバックと電源制御を通じて蒸着速度と温度を正確に制御することができます。また、RFおよびDCスパッタリングの調整可能な出力設定により、より均一な層の厚さと表面テクスチャアプリケーション用の方向スパッタリングの発生角度を調整できます。KURT J。 LESKER 1800は、スパッタリングプロセスの専門レベルの精度を提供します。これには、高いスパッタレート、高い基板温度、高速、高精度のレイヤーデザインと非常に均一な層の厚さが含まれます。また、高い均一性コーティング、プロセス結果の高い再現性、トータルポータビリティ、プリスパッタリングXe爆撃、およびその他のさまざまなプロセス制御機能を提供します。1800は、さまざまな産業用途のニーズを満たす幅広い機能を提供する耐久性と効率的なスパッタリングツールです。それは優秀な結果のいろいろな材料をスパッタする信頼でき、費用効果が大きい方法です。また、正確で反復可能なレイヤーデザインを探しているユーザーにとって理想的なソリューションです。KURT J。 LESKER 1800はメンテナンスを最小限に抑え、幅広い用途に対応した汎用性の高い機能を備えています。
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