中古 KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555 を販売中

KRAUSS MAFFEIトライアスロンは、KRAUSS MAFFEIが薄膜成膜用に開発したスパッタリング装置です。ガラス、金属、プラスチック、セラミックスなど、さまざまな表面の基板にさまざまな材料を堆積させるように設計されています。蒸着システムは3つの磁気駆動源で構成されており、それぞれに2つのターゲットが装備されており、これは共同スパッタリングに使用することができます。これにより、1サイクルで最大3つの材料を堆積させることができ、複雑な多成分構造を堆積させることができます。さらに、ターゲットを簡単に交換して、元素金属、合金、酸化物、窒化物など、さまざまな材料を堆積させることができます。トライアスロンユニットは、必要な材料や構造に応じて、シングルステップとマルチステップスパッタリングの両方を可能にします。スパッタ源には、水平スパッタ源を収容するプロセスチャンバーと、スパッタ材料を基板に導くために使用される静電ヘキサポールが含まれています。スパッタリングに最適なガス流量を維持するために加圧され、均一な蒸着速度で温度制御されます。メインのソースには回転マグネトロンが装備されており、他の2つのソースはRFまたはDCバイアスに使用できます。スパッタリングの速度は、均一な蒸着速度と厚さを達成するために、調整可能な圧力レギュレータで制御されます。このマシンは、既存のレイヤーやデバイスを修復および変更するためのプロセスのスパッタエッチングを実行することができます。これにより、化学機械平坦化（CMP）、酸化、アニール、埋め込みなど、さまざまな用途に使用できます。このツールには、堆積パラメータを自動的に変更するための6トラックプロセスリピートパラメータと、リモート操作用のステッピングモータが装備されています。KRAUSS MAFFEIトライアスロンは、蒸着パラメータと材料を正確に制御できる信頼性の高い効率的なスパッタリングアセットです。これにより、マイクロエレクトロニクス、光学コーティング、薄膜太陽電池、薄膜トランジスタなど、さまざまな用途に適した複雑なマルチコンポーネント基板や独自の表面構造を作成することができます。コンパクトで低コストなため、さまざまな実験環境に適しています。