中古 INNOVATIVE SYSTEMS ISE IE-PVD-3000 #9176092 を販売中

革新的なシステムISE IE-PVD-3000は産業金属および金属合金の生産で使用されるスパッタリング装置です。このシステムは、プロセス歩留まりを改善するように設計されており、さまざまなアプリケーションで使用できます。マルチステップスパッタリングプロセスを使用して、金属または金属合金層を基板に堆積させ、プロセス全体をコンピュータ化されたユニットによって制御します。スパッタチャンバー、電子ビーム源、絶縁エンクロージャを使用して動作します。スパッタチャンバーはアルゴンガスで満たされた真空密閉チャンバーです。電子はチャンバー内で高速に加速され、基板を通過して金属または金属合金の層に入ることができます。電子は金属または金属合金の原子と結合し、分解して多層層に変化する。このチャンバーには、発熱を低減するための絶縁エンクロージャも装備されています。この絶縁材は基質またはスパッタされた材料への熱損傷を防ぎます。絶縁されたエンクロージャはまたスパッタリングプロセスの正確さそして精密を高めます。IE-PVD-3000は高精度であり、堆積速度、厚さ、さらには層均一性を正確に制御することができます。また、蒸着速度を監視し、必要に応じて調整することができるオートチューナーを装備しています。これにより、すべての基板で同じ品質のスパッタコーティングが得られます。このツールはまた、環境ができるだけ安全であることを確認するための機能のホストを備えています。アセットと密閉されたチャンバーへの不正アクセスを防止するための内部ロック機構を備えています。また、メンテナンスやサービスに簡単にアクセスできるように設計されています。また、IE-PVD-3000は、スパッタリングプロセスの廃棄物を削減し、環境への影響を改善するように設計されています。有害物質の排出を削減するためにアルゴンを利用しています。さらに、それは最適化されたエネルギー消費を可能にするプログラム可能な電源を特色にします。全体として、ISE IE-PVD-3000は最先端のスパッタリングモデルであり、プロセスの歩留まりを改善し、環境負荷を低減し、作業者の安全性を高めるように設計されています。