中古 INNOTEC VS-24C #190502 を販売中

INNOTEC VS-24Cスパッタリング装置は、薄膜材料の物理蒸着（PVD）に関連するすべてのプロセスに使用される完全に統合された自動化されたデバイスです。これは、幅広いプロセスウィンドウを備えたオンライン真空蒸着ソリューションであり、さまざまなアプリケーションに適しています。VS-24Cは、最新のPVD技術を搭載したマルチソース・マルチチャンバーシステムで、シャッターレス・窒化物蒸着機能などの高度な沈着制御および診断機能を備えています。また、直感的なWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とカスタマイズされた構成のための柔軟なモジュラー設計を備えています。このユニットは、誘電体と半導体材料の両方のPVD用に設計されています。最適化されたプロセスウィンドウとクローズドループのプロセスコントロールにより、均一なフィルム品質と厚さ制御が保証されます。モジュラー設計により、最大4つの別々のチャンバーを追加することができ、堆積および生産能力のスケールに関して柔軟性を提供します。INNOTEC VS-24Cは、高品質で信頼性の高い成膜結果を提供することができ、スループットと製品歩留まりを最大限に引き出すための特別な設計を備えています。ソース構成と基板サイズが異なるため、特定のプロセス要件に対応できます。このマシンは、タイムパルス、円形およびセグメント化された回転スパッタリングプロセスを実行し、高度な2ソース、2ターゲット構成を含む幅広いスパッタレートを備えています。また、マイクロプロセッサ制御の可変電源も備えており、成膜パラメータを正確に制御できます。VS-24Cは高度なPVDツールで、高度な自動化と制御が可能で、ユーザーは処理時間を短縮し、堆積率を向上させることができます。その思慮深く設計された設計と機能の包括的なパッケージは、最大の顧客満足度を確保します。