中古 INNOTEC DS 24 #2736 を販売中

INNOTEC DS 24は、大小のターゲットに適した高性能スパッタリング装置です。スパッタリングシステムは、24kW DCターゲット電源によって駆動され、生産および研究アプリケーションの両方に適しています。高度なプロセス制御と監視ユニットを備えているため、スパッタリングパラメータを簡単に制御および調整できます。これにより、プロセスが再現可能で、一貫した高品質の結果を得ることができます。この機械は、さまざまな材料をスパッタリングすることができ、厚さ100nmまでの薄膜を堆積することができます。多彩なスパッタリングチャンバーは、複数のターゲットで構成することができ、さまざまなサイズや形状に適しています。このチャンバーには、隣接するソースと基板ホルダーが装備されているため、基板やターゲットの配置時に大きな柔軟性が得られます。DS 24は、高速スイープとスロースイープ冷却構成を含む複数の冷却オプションを備えています。また、高精度のEDAX EDXRFエネルギー分散分光計を備えており、スパッタフィルムの元素組成を迅速に決定できます。EDAXツールはまた、高速分光計と1時間あたり最大15サンプルのスループットで高速解析を提供します。スパッタリングアセットには専用の真空モデルもあり、18 m3/hのターボ分子ポンピングステーションを備えています。これにより、機器の清浄度が維持され、薄膜蒸着プロセスに最適な作業条件が保証されます。さらに、INNOTEC DS 24は、インテリジェントなアラームとモニタリングシステムを提供し、システムの障害を早期に検出し、問題が深刻になる前に問題を修正する時間を残すことができます。また、プロセス監視ツールのコレクションがあり、研究者はプロセスを最適化し、望ましい結果を得るために堆積パラメータを微調整することができます。全体として、DS 24は高度でありながらユーザーフレンドリーなスパッタリングユニットであり、信頼性と再現性の高いプロセス性能を提供します。要求の厳しい生産および研究用途に適しており、そのインテリジェントなシステムにより、薄膜蒸着分野で貴重なツールとなります。