中古 HITACHI IML6-1 #9172028 を販売中

HITACHI IML6-1は、コーティング材や薄膜デバイスを製造するための高性能スパッタ装置です。完全な6軸メカニカルステージと真空チャンバーを備えており、水平方向または垂直方向のいずれかで操作できます。また、ガラス、金属、プラスチック、セラミックなど様々な基板に対応するための基板ホルダーも豊富に用意されています。低電圧、低エネルギーイオン加速器を採用し、ビーム電流は最大1mA rms、ビームスポットサイズは30mmです。調整可能なビームエネルギーは、高度な高密度プラズマ制御と相まって、スパッタ源の配列を使用して、様々な金属、誘電体、および複合薄膜の効率的な堆積を可能にします。IML6-1は、欠陥レベルが低い高品質のコーティングプロセスを提供するように設計されています。その高度なチャンバーとソース設計は、スパッタ粒子のプラズマ密度とエネルギー密度の均一性、ならびに金属接着およびフィルム均質性を制御することにより、カバレッジの均一性を保証します。さらに、高度なプラズマ監視機を搭載しており、プラズマの位置を正確に制御し、均一性を処理します。このツールには、真空圧力、酸素含有量、ガス注入、および温度を制御するための最先端のシステムも含まれています。これにより、オペレータはプロセスを密接に監視し、最適なプロセス結果を確保することができます。HITACHI IML6-1には直感的なグラフィックユーザーインターフェイスが搭載されており、使いやすく、資産パラメータを迅速かつ簡単に監視および調整することができます。また、トラブルシューティングガイド、操作手順、使用方法のヒントなど、広範なオンラインドキュメントもサポートされています。IML6-1は堅い制御の下で優秀なスパッタリングの性能を要求するプロジェクトのための理想的な選択です。その優れた基板摩耗保護とプラズマ制御技術は、非常に要求の厳しい材料であっても、信頼性の高い品質フィルムを提供するのに役立ちます。