中古 HITACHI E-1010 #293638499 を販売中

HITACHI E-1010は、様々な研究開発用途に使用される最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、基板の両側から真空基板の堆積を処理することができる封じられたユニットであり、ユニットの成長と拡大を計画しています。イオンおよび粒子軌道の低電圧および低強度の拡散のための最先端の静電シールドが装備されており、敏感な基板および部品に対する優れた保護を提供します。スパッタガンには、スパッタ材料の均一で滑らかな遷移を提供する多数のグラファイトアークフィラメントを備えたグラファイトライナーが組み込まれています。アークフィラメントは銃全体に広がり、スパッタリング操作も可能です。スパッタガンは、高電流、高パルスレート、電力蒸着を提供することができる4電極マシンを備えたデュアルポイントセクションを内蔵しています。このツールは、小粒子および大粒子のために特別に設計されており、部品の最小限のウォーミングで超高速コーティング性能を提供します。HITACHI E1010には、平行エッチングと断面エッチングの両方を提供するダブルエンドエッチング機能も搭載しています。これにより、スパッタリング処理後の基板または部品の精密な分析と検査が可能になります。このアセットには、3次元空間で動作できるロボットアームも含まれており、基板テーブルを簡単に調整でき、スパッタガンにあらゆる角度から簡単にアクセスできます。E-1010は完全に自動化されたスパッタリングモデルであり、計画と監視機能、銃および全体的な基板管理の自動化、およびユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。その柔軟で使いやすいソフトウェアはまた、調整可能なスパッタパラメータと全体的な機器管理で、データの入力と記録を可能にします。また、独立したバッチ管理とレシピ管理だけでなく、リアルタイムの圧力と温度管理も備えています。特に、E1010は実験室グレードの圧力モニターIIシステムを介して高度な診断機能を備えています。このユニットは、正確な圧力フィードバックを提供し、プロセスのすべての段階で最適なスパッタ条件を表示します。また、真空チャンバーまたはバヨネット式スパッタガンでの操作も可能で、各種基板成膜にも対応可能です。HITACHI E-1010は、あらゆる用途に精密かつ再現性のある結果を提供する高度なスパッタツールです。パワフルなスパッタガン、同時エッチング統合、オートメーション機能、圧力監視機能を備え、正確な基板蒸着のための包括的かつ包括的な資産です。