中古 FULINTEC FU16-PSB #9409632 を販売中

FULINTECのFULINTEC FU16-PSBは、最先端の物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。このシステムは、高度な薄膜材料とシステムの幅広い生産のために特別に設計された高度な真空蒸着ツールです。このユニットは非常に柔軟なプラットフォームであり、金属、合金、誘電体、複合材料など、さまざまなターゲットを処理することができます。また、セラミックス、シリコン、石英、その他の材料など、さまざまな基板材料を扱うことができます。多軸モジュラー設計により、厚さ、抵抗、結晶方向、表面仕上げ、均一性など、応用フィルムのパラメータを正確に制御することができます。この機械は、低圧アーク放電を利用してソース材料を加熱し、スパッタリングを容易にします。16キロワットのDC電源と監視制御インタフェースを搭載しています。さらに、容易なサンプルの積み込みおよび荷を下すことのための静電チャックが装備されています。また、自動化された基板ハンドリングツールを搭載しており、自動基板の積み降ろしが可能です。このアセットは、基板からターゲットまでの一定の距離を維持し、基板全体にわたって一貫したフィルム品質と性能を確保するように設計されています。FU16-PSBモデルには高精度イオン源も搭載しており、イオンビームによる蒸着技術の利用が可能です。これにより、はるかに高い堆積率、ならびに洗練された層状および複合材料の生産を可能にします。また、ダイレクトドライブモーションコントローラと精密ポインティング装置を搭載し、高精度な蒸着パターンを実現しています。このシステムは、ガス安全遮断装置、不活性ガス保持装置、自動ガス監視ツール、外部圧力コントローラ、水冷資産などの安全機能を備えています。これにより、幅広い真空レベルでの安全で信頼性の高い動作が可能になります。FULINTEC FU16-PSBは総合的で高精度なPVDスパッタリングモデルで、幅広い材料やシステム、高度なパターンやレイヤーを生産することができます。モジュール設計、幅広いパラメータ、安全機能により、さまざまな研究および生産アプリケーションに最適です。