中古 FHR Line 2500H #293811319 を販売中

FHR Line 2500Hは、半導体、光学、研究産業における高性能な薄膜成膜用途向けに設計された最先端のスパッタ装置です。真空コーティング装置の大手メーカーであるFHR Anlagenbau GmbHが開発したLine 2500Hは、スパッタリング技術の最新技術の進歩を表しています。FHRライン2500Hシステムの中核には、高精度で均一な幅広い材料を堆積させるためのマグネトロンスパッタ源を各々装備した、複数のプロセスステーションを備えた高真空チャンバがあります。このユニットは直径300mmまでの基板に対応できるように設計されており、大規模な生産および研究アプリケーションに適しています。ライン2500Hは、蒸着速度、膜厚、組成、均一性など、スパッタリングプロセスパラメータを正確に制御できる高度な制御機を備えています。このツールは、DCおよびRFスパッタリングモードの両方で動作でき、プロセス開発と最適化の柔軟性を提供します。FHR Line 2500Hの主な特徴の1つは、高度な基板取扱資産であり、高いプロセス清浄度を維持しながら、基板の効率的な積み下ろしを保証します。高精度で再現性に優れ、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を高めるロボットアームを搭載。ライン2500Hには、オペレータの保護と機器の信頼性を確保するための包括的な安全機能が装備されています。これらには、真空レベル、ガス流量、温度などのシステムパラメータを監視し、異常が発生した場合に自動シャットダウンをトリガーするインターロックやセンサーが含まれます。FHR Line 2500Hのスパッタリングソースは、高いターゲット使用率と長期的な安定性のために設計されており、一貫したフィルム品質を確保し、メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えます。また、光放射分光法や水晶マイクロバランスなどのin-situプロセスモニタリング機能を搭載しており、蒸着プロセスのリアルタイム監視やプロセスパラメータのフィードバック制御が可能です。Line 2500Hは、高性能機能に加えて、拡張性を念頭に置いて設計されており、将来のプロセス要件に対応するために追加のプロセスステーションやアップグレードを容易に統合できます。このマシンはまた、FHRの技術専門家チームによってサポートされており、インストール、トレーニング、およびツールの最適なパフォーマンスを確保するための継続的なサポートを提供しています。結論として、FHR Line 2500Hスパッタリングアセットは、高性能の薄膜成膜アプリケーション向けの汎用性と信頼性の高いツールであり、半導体、光学、研究産業の進化するニーズに応えるための高度な機能、正確な制御、スケーラビリティを提供します。その最先端の技術と堅牢なデザインは、高品質のスパッタリングソリューションを求める研究者やメーカーに最適です。