中古 EVATEC Radiance #9266824 を販売中

EVATEC Radianceは、物理蒸着用途向けに設計された高性能スパッタリング装置です。小型からウェーハ全体まで、幅広いサンプルサイズに対応可能です。このシステムは、パリレンやアモルファスカーボンなどの誘電性コーティング、ならびに金属、酸化物および窒化物を堆積することができる。コーティングは制御された方法で基質に適用され、良好な接着特性を持つ均質な層を作り出します。スパッタターゲットはステンレス製のチャンバーに取り付けられ、スパッタリング温度まで加熱されます。アンチカンバーガスインレットを収納することで、チャンバーのパージを素早く効率的に行うことができます。スパッタターゲットはイオン源からのイオンで爆撃され、プラズマが生成されます。イオンは特定の角度でターゲットにぶつかり、基板上に均一なフィルムを作り出します。ラディエンスには複数の構成があり、基板サイズ、コーティング厚、沈着率、組成の大幅な変化を可能にします。優れた均一性を持ち、半導体、航空宇宙、自動車産業に適しています。また、ミラーや装飾仕上げなどの高い反射率と保護コーティングを作成するのにも適しています。このユニットは非常にユーザーフレンドリーで、大きなタッチスクリーンディスプレイを備えており、効率的な操作を可能にします。また、厳密なトレーサビリティを可能にするデータストレージモジュールが装備されています。コントローラには、操作時間を短縮する組み込みのレシピが装備されています。制御ソフトウェアは、ユーザーが自分のコンピュータからマシン全体を監視し、制御することができます。プロセス情報、グラフ、トレンド分析などの機能が含まれています。このソフトウェアは、複数のスパッタリングシステムを同時に制御するようにプログラムすることもできます。EVATEC Radianceは信頼性と堅牢なスパッタリングツールで、幅広い用途に最適です。コントロールソフトウェアと使いやすいインターフェースにより、スパッタリングが簡単になります。アセットは均一で付着性のあるコーティングを作成することができ、信頼性と再現性の高いスパッタリング蒸着プロセスを必要とする人に最適なモデルになります。