中古 EVATEC Radiance #9144241 を販売中

EVATEC Radianceは、世界をリードする研究機関や業界の要求に応えるために設計されたスパッタリングシステムの範囲です。Radianceの機能セットは、反応系と非反応系の両方で優れた性能を提供し、さまざまな用途で薄膜を製造します。このプラットフォームは、画期的なE- Layer™技術に基づいています。これは、高品質、厳格な制御、および生産時間の短縮を容易にするさまざまなソースからの高度な材料沈着方法です。EVATEC Radianceプラットフォームは、高度な電源、プロセスコントローラ、ターゲット電力、空冷RFジェネレータなど、一連の高度なコンポーネントを備えています。この電源は、スパッタリングプロセスを正確に制御する調整可能な電圧と電流値を備えた高品質のスパッタリング蒸着用に最適化されています。コントローラはタイトなプロセス制御を提供し、正確な再現性とリアルタイムでパラメータを監視および調整する機能を提供します。RFジェネレータは、アプリケーションに合わせて調整可能な電力と周波数を備えた反応プロセスに最適なRFプラズマ用に設計されています。ラディエンスシステムは、様々な高度な蒸着チャンバーを備えており、生産変動のための大容量を提供するだけでなく、柔軟性の向上と蒸着率の向上を提供します。複数のチャンバを利用することで、スループットを向上させることができ、各プロセスを他のプロセスを犠牲にすることなく正確に調整および評価することができます。チャンバーは均一な厚さの層を提供し、ガス抜きなどの堆積関連の欠陥を最小限に抑えるように設計されています。EVATEC Radianceプラットフォームには、安全性の向上、人間工学の向上、ダウンタイムの削減を目的としたいくつかの機能も含まれています。安全機能には、設定されたターゲットを超えないようにプロセスパラメータを自動監視するだけでなく、緊急時には広範なインターロックと自動シャットオフが含まれます。最適化された人間工学は、調整可能な作業高さと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このシステムの2つの独立した真空モータとプロセスモータは、長寿命のために設計されており、オンボードLAN接続により、迅速なメンテナンス、システム監視、およびデータ転送が容易になります。要するに、Radianceは、今日の主要な研究および生産環境の要求に応えるように設計された、包括的で高性能なスパッタリングシステムです。高度な機能とコンポーネントを組み合わせることで、優れたプロセス制御、高品質の蒸着、安全性と人間工学の向上を提供します。この範囲は、薄膜の製造からスパッタ製品のシーケンス作成まで、さまざまな用途に適しています。