中古 EVATEC Radiance #293650371 を販売中
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EVATEC Radianceは、EVATECが開発した最先端のスパッタリング装置で、高い蒸着速度と優れた均一性測定を組み合わせています。この装置は、光学、ディスプレイ、太陽光発電、データストレージ、MEMSなどの産業用途に特に適しています。特許取得済みのDynamiKrターゲット交換器、SputterFlowデュアルソース電源、およびQuick-Connect®ターゲットマウントを備えています。DynamiKrターゲット交換器は、ターゲット・イン/ターゲット・アウトのサイクル時間が50秒未満の電動ターゲット交換器です。これにより、高いスループットとターゲット間の高速スイッチングが可能になります。SputterFlowデュアルソース電源は、異なるターゲット間の切り替え時にスムーズな電源遷移を確保するように設計されています。これにより、堆積層の均一性が向上します。Quick-Connect®ターゲットマウントは、クイックチェンジマウントシステムと調整可能なターゲット高さで設計されています。これにより、シンプルで高速なターゲットマウントと交換が容易になります。高度な設計に加えて、ラディエンスユニットは幅広いプロセスパラメータを提供しています。これには、最大30cmのターゲット間の距離、10Wから1500Wまでの電力範囲、多数のソース・ガス、最大150mtorrのギャップ閉鎖が含まれます。このマシンはまた、超高真空アプリケーションのために認定されており、10-7 mtorrのベース圧力を提供しています。これにより、極薄層の堆積に最適です。EVATEC Radianceは、さまざまなチャンバーサイズで利用可能で、手動または完全に自動化された操作が可能です。オプションの無線周波数（RF）ソースを追加することも可能で、蒸着の均一性と蒸着速度の向上を可能にします。全体的に、このツールは、高性能スパッタリングプロセスのターンキーソリューションを提供します。
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