中古 EVATEC Radiance #293650368 を販売中
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EVATEC Radianceは、EVATECが開発した完全に統合された汎用性の高い物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。このシステムは、金属、合金、誘電体、窒化物をさまざまな基板に堆積させるのに理想的で、従来のシステムよりも制御、柔軟性、効率を向上させるいくつかのユニークな機能を備えています。ラディエンスは、電源とプロセスチャンバーという2つの異なるコンポーネントを使用して、優れたスパッタリング性能を実現しています。電源ユニットは、最大出力、周波数チューニング、クイックチェンジターゲット技術、高度な制御アルゴリズムを組み合わせ、低温蒸着動作と優れたプロセス再現性を保証します。チャンバー自体は、複数のタイプの蒸着材料と互換性があるように設計されており、最適化された電子ビームがターゲットのシャントボックスに結合されているため、薄膜または厚膜の低温スパッタリングが可能です。その特別に設計された絶縁体スタックは、迷走磁界に対する優れた保護を保証し、基板全体にわたる物質組成を保証します。すべてのEVATECシステムと同様に、EVATEC Radianceマシンはユーザーフレンドリーでグラフィカルなコントロールインターフェイスで設計されています。このインターフェイスは、プロセス要件に応じてすべてのパラメータを簡単に調整することができ、品質管理のための監視およびデータロギングにも使用できます。さらに、統合されたターゲットおよび基板ローディングシステムは、スループット速度を大幅に向上させ、従来のシステムと比較して1つのウェハを最大3倍高速に処理できます。要するに、Radianceツールは究極のスパッタリング性能を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。優れた機能、高度な制御アルゴリズム、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス、さまざまな材料要件をすばやく切り替える機能を備えたEVATEC Radianceは、非常に再現性の高い操作と優れたフィルム品質を最小限のダウンタイムで提供できます。その卓越した柔軟性により、Radianceは幅広いスパッタリング用途に最適です。
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