中古 EVATEC Radiance BPM5 #293650365 を販売中

EVATEC Radiance BPM5は、導電性、温度感受性、および極めて薄い材料を大型基板上に堆積させるために設計された高出力マグネトロンスパッタリング装置です。これは、薄膜蒸着の分野で最高の均一性とコスト効率を提供するように設計されています。優れた精度、低消費電力、高い蒸着率、優れた再現性を兼ね備えた先進プラットフォームです。ラディエンスBPM5には、可変パワーノブルガス発生器、高出力スパッタリングガン、真空チャンバー、高精度モーションシステム、タレットスパッタリングデポセンター、真空ポンプシステムが装備されています。可変的な力の貴重なガスの発電機は目標区域全体のアルゴンガスの均一な配分を提供します、スパッタリングガンはターゲットを活動化させ、それを溶け、基質に付着させるのに使用されています。高精度モーションシステム、タレットスパッタリングデポセンターユニット、真空ポンピングユニットの組み合わせにより、正確で正確な蒸着プロセスを実現します。EVATEC Radiance BPM5は、伝導性や温度に敏感な材料を含む幅広い材料を、並外れた均一性で堆積させることができます。蒸着均一性は、加熱を必要とせずにターゲットの水平移動によって達成されます。さらに、低消費電力と高い蒸着率を組み合わせることで、必要な材料の迅速かつ効率的な蒸着が保証されます。ターゲットの準備はスパッタリングマシンの重要な部分であり、Radiance BPM5はこれを考慮に入れるように設計されています。それはターゲットの酸化を防ぎ、従って信頼できる結果を保障するターゲット前処理プロセスを使用します。さらに、このツールには、複数のターゲットを簡単に準備でき、スパッタリングプロセス中のダウンタイムを大幅に削減できる自動ターゲットスワップ機能が装備されています。蒸着機能に加えて、EVATEC Radiance BPM5は、信頼性と一貫した結果を保証するための高度なモニターおよび制御機能も提供します。これには、統合されたコントローラとデータロギングアセットが搭載されており、ユーザーはプロセスをリアルタイムで正確に監視、測定、分析することができます。これにより、プロセスの迅速なトラブルシューティングと最適化が可能になり、歩留まりと均一性が向上します。Radiance BPM5は、優れた蒸着均一性、低スパッタリング消費電力、高い蒸着速度、優れた再現性を提供する高度なスパッタリングモデルです。大型基板上の各種材料の成膜に最適で、毎回高品質で信頼性の高い結果を出すことができます。