中古 EVATEC Radiance BPM1 #293650362 を販売中

EVATEC Radiance BPM1は、高品質の薄膜を製造するための高度なスパッタリング装置です。複数のプロセスを同時にスパッタリングすることができ、さまざまなアプリケーション要件に簡単に適応できます。特許取得済みの磁気バランスビーム技術により、優れた均一性と優れたフィルム特性を提供します。優れた均一性と再現性を備え、高性能な薄膜を容易に製造できます。それにユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスがあり、簡単な操作とより大きなプロセス制御を可能にします。このユニットには1500W DC電源が搭載されており、フィラメントとターゲット固有のスパッタレートが可能です。強力な磁石配置によりスパッタ力が向上し、大きなスパッタ領域にわたって均一性が確保されます。また、生産中にハンズオフ操作を可能にするオートスタートマシンを備えています。スパッタリングツールは、堅牢な構造と高度なパルスDCスパッタリングプロセスにより、物理蒸着（PVD）条件を効果的に模倣することができ、信頼性の高い設計となっています。また、反応性ガスの統合をサポートし、高度なプロセスに再現可能なガス条件を提供するためのガス流量制御アセットを内蔵しています。このモデルは、さまざまな用途向けに幅広い薄膜を製造することができます。絶縁膜、半導体膜、各種透明酸化物など様々な形態や化学組成の膜を生成することができます。フィルムは非常に制御可能であり、優れた接着性と電気特性で製造することができます。また、Autotune™ Technologyは強力なプロセス最適化システムで、迅速なターンアラウンドタイムでフィルムを迅速かつ簡単に最適化できます。全体的に、Radiance BPM1は高度で使いやすいスパッタリングユニットで、優れた均一性とプロセス再現性を提供し、優れたフィルムを高性能で提供します。