中古 EVATEC MSP 1232 #293628037 を販売中

EVATEC MSP 1232装置は非常に薄いフィルムを作り出すように設計されているハイテクなスパッタリングシステムです。この機械は複雑な構造および装置の製作で広く利用されています。独自の多軸およびマルチソース構成により、MSP 1232は、広い領域で均一な厚さと優れたステップカバレッジを持つフィルムを製造することができます。EVATEC MSP 1232は、8プレート磁気シールドを備えた6つの独立したソースを備えています。これにより、広域ターゲットに直接膜を堆積させることができ、ディスプレイ、半導体、MEMSなどの用途に最適です。このセットアップはまた、異なるデバイスアーキテクチャに高い蒸着均一性と優れたステップカバレッジを提供します。MSP 1232は、同じユニット内の2つの独立した蒸着チャンバーを備えています。これにより、2つの異なる要素を同時にスパッタリングすることができます。独立したコントローラを使用することにより、このマルチソース構成は1つの要素の最適化されたプロパティを有効にし、もう1つの要素は異なるソースのサイズと電力を持つことができます。このデュアルチャンバー機は、部分的な酸化と金属ケイ化物を製造することも可能です。EVATEC MSP 1232は、さまざまなDCおよびRF電源と互換性があり、幅広い材料を堆積することができます。その統合されたコンピュータ制御ツールは、力、時間、圧力、および温度などの堆積パラメータを正確に制御することができます。また、スパッタリングプロセス中にサンプルの状態を正確に監視できる革新的なウエハトラッキングアセットも備えています。MSP 1232は研究および産業適用のための薄膜の生産のための理想的なモデルです。そのマルチソース設計により、優れたステップカバレッジと再現性を備えた広範囲にわたって複雑なフィルムを均一に蒸着できます。高度なコンピュータ制御装置により、品質を損なうことなく、望ましい制御を容易に実現できます。さらに、幅広い材料や電源との互換性により、現代のスパッタリングプロセスに最適です。