中古 EMITECH SC7620 #9258013 を販売中

エミテックSC7620は、薄膜成膜用に設計された高性能マグネトロンスパッタリング装置です。SC7620は、高度なアーキテクチャと特許取得済みのマルチポイント電源制御により、優れた成膜均一性と制御を提供します。2ターゲットスパッタリング源と高度なソースシールドを備えており、正確なスパッタ蒸着制御が可能です。ソースには、高出力RFジェネレータ、ステンレス製カソード、および4つのセラミックスパッタリングターゲットのセットが含まれています。ターゲットは、幅広いプロセスパラメータを備えた低電圧、高電流スパッタに最適化されています。EMITECH SC7620は、独自の特許取得済みのマルチポイント電源制御システムにより、精密成膜の均一性と制御を提供します。この機能により、スパッタリング電源からの電力を二分化し、ターゲット領域のバランスを調整して、非常に均一な薄膜を生成することができます。SC7620はダイレクトドライブのターゲット位置決めユニットを使用しており、スパッタコーティング中にスパッタターゲットと基板との直接接触を保証します。このダイレクトドライブのターゲット位置決め機は、コントローラボードによって正確に制御され、基板表面全体に均一な厚さを提供します。このツールはまた、複数の層の堆積のための複数のターゲットの使用を可能にします。EMITECH SC7620は、堅牢なプログラミング機能を備えた多目的で調整可能です。これは、柔軟性とターゲット堆積を可能にするプログラミングオプションの広い範囲を備えています。高度なプログラム可能な機能には、電源制御、プロセスタイミング設定、ステップバイステップの蒸着レシピなどがあります。SC7620の統合温度制御アセットは、プロセス全体にわたって層の均一性を保証します。モデルの高度な温度制御装置は、オプションでN2バイパスで構成することができ、最大600°Cの温度を可能にします。EMITECH SC7620の組み込みの高度な安全機能には、緊急停止、温度制御、および複数の安全シャットダウンが含まれます。これらの機能は、サンプル、システム、および環境を潜在的な害から保護します。SC7620は、コーティング、MEMS、光学、センシングなどの用途において、薄膜精密薄膜層の成膜に最適です。